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H. Tiznado, D. Domínguez, W. de la Cruz, R. Machorro, M. Curiel, G. Soto
TiO2 and Al2O3 ultra thin nanolaminates growth by ALD; instrument automation and films characterization
Revista Mexicana de Física, Volumen 58, Número 6, 2012
Revista Mexicana de Física58 (6)2012 PDF [en]

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